Trumpf直流等离子体电源-Trumpf加热电源1599111

通快霍廷格直流等离子体电源是等离子体激发的经典之作。它主要应用于单阴极系统，同时还用于太阳能电池和半导体上涂覆导电性涂层以及极化基质。作为高性价比的入门级等离子体激发工艺，直流电源如今已在众多应用中投入使用。

TruPlasma DC 3000 (G2) 系列

作为新一代直流电源，TruPlasma DC 3000 (G2) 系列适合众多直流溅射工艺。得益于**的电弧管理和集成水冷装置，该款直流电源同样可用作脉冲式直流电源的高性价比替代方案。此外，极其紧凑的结构使其方便集成至现有应用中。

TruPlasma DC 3000 系列

凭借宽泛的功率范围和快速电弧识别，TruPlasma DC 3000 系列直流电源确保完美无瑕的表面和较高的镀膜速率——即便用于要求极高的直流溅镀工艺。归功于空气冷却装置，该电源的结构极其紧凑，可轻松集成至任何设备之中。

TruPlasma Arc 3000 系列

TruPlasma Arc 3000 系列电源主要用于硬质镀膜和装饰镀膜。通过紧凑型结构和空气冷却装置，确保充分利用宝贵的有效面积并方便集成至新系统或现有系统之中。

TruPlasma Bias 3000 系列

TruPlasma Bias 3000 系列是比较**的直流偏压电源系列，用途极为广泛。所有设备均具备两种工作模式，主要支持光学与金属镀膜应用。此外，其还适合对电压与电流有类似要求的所有应用。